超精加工目前尚沒(méi)有統(tǒng)一的定義，在不同的時(shí)期，不同的科學(xué)技術(shù)發(fā)展水平情況下，有不同的理解。通常我們把被加工零件的尺寸精度和形位精度達(dá)到零點(diǎn)幾微米，表面粗糙度優(yōu)于百分之幾微米的加工技術(shù)稱(chēng)為超精加工技術(shù)。 

超精密加工的重要手段包括:

一、超精密切削， 如超精密金剛石刀具鏡面車(chē)削、銷(xiāo)削和銑削等。

二、超精密磨削、研磨和拋光。

三、超精密微細(xì)加工(電子束、離子束、激光束加工以及微硅器件的加工、 LIGA技術(shù)等)。 超精密加工技術(shù)市場(chǎng)是國(guó)家尖端技術(shù)集中的市場(chǎng)，它既是高代價(jià)、高投入的工藝技術(shù)，又是高增值、高回報(bào)的工藝技術(shù)，世界工業(yè)先進(jìn)國(guó)家都把它放在國(guó)家技術(shù)和經(jīng)濟(jì)振興的重要位置。如：

(1)超精密偶件加工。如，慣性導(dǎo)航儀器系統(tǒng)中的氣浮陀螺的浮子及支架、氣浮陀螺馬達(dá)軸承等零件的尺寸精度、圓度和圓柱度都要求達(dá)到亞微米級(jí)精度；人造衛(wèi)星儀器軸承是真空無(wú)潤(rùn)滑軸承，其孔和軸的表面粗糙度Rα達(dá)到1nm，圓度 和圓柱度均為納米級(jí)精度。這些零件都是用超精密金剛石刀具鏡面車(chē)削加工的。精密液壓控制系統(tǒng)中的精密伺服閥的閥芯與閥套的配合精度也常在亞微米等級(jí)，它是用超精密磨削方法加工的。

(2)超精密異形零件加工。例如，航空高速多辨防滑軸承的內(nèi)滾道／激光陀螺微晶玻璃腔體，都是用超精密數(shù)控磨削加工而成的。陀螺儀框架與平臺(tái)是形狀復(fù)雜的高精度零件，是用超精密數(shù)控銑床加工的。

(3)超精密光學(xué)零件加工。例如，激光陀螺的反射鏡的平面度達(dá)0．05μm，表面粉糙度Rα達(dá)0．001μm、它是由超精密拋研加工、再進(jìn)行鍍膜而成，最終要求反射率達(dá)99．99％。一些高精度瞄準(zhǔn)系統(tǒng)要求小型化，所以用少量非球面鏡來(lái)代替復(fù)雜的光學(xué)系統(tǒng)。這些非球鏡是用超精密車(chē)、磨、研、拋加工而成的。最近，二元光學(xué)器件的理論研究進(jìn)展很大，二元光學(xué)器件的制造設(shè)備是專(zhuān)用的超精密加工設(shè)備。在民用方面，隱形眼鏡就是用超精密數(shù)控車(chē)床加工而成的。計(jì)算機(jī)的硬盤(pán)、光盤(pán)、復(fù)印機(jī)等高技術(shù)產(chǎn)品的很多精密零件都是用超精密加工手段制成的。

(4)微機(jī)電系統(tǒng)器件加工微機(jī)電系統(tǒng)(ME— MS)是從集成電路制造技術(shù)發(fā)展起來(lái)的新興機(jī)電產(chǎn)品，如微小型傳感器、執(zhí)行器等。硅光刻技術(shù)、LIGA技術(shù)和其它微細(xì)加工技術(shù)的生產(chǎn)設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備都是超精密加工的產(chǎn)品。