● 特性  Specification

小孔節(jié)流與多孔介質(zhì)，耗氣量小，可供用戶(hù)多種選擇高精度，

直線(xiàn)度可到達(dá)0.5um/m

高剛度，加速性能好，動(dòng)態(tài)響應(yīng)快

無(wú)摩擦，適用于高精度定位、掃描、計(jì)量                                                   

可選無(wú)驅(qū)動(dòng)或者直線(xiàn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)

尺寸可定制，滿(mǎn)足各種工況

行程按需定制，負(fù)載按需定制

納米精度：分辨率1nm， 重復(fù)精度50nm，  定位精度100nm

超穩(wěn)定性：花崗石機(jī)臺(tái)，氣浮導(dǎo)軌，直驅(qū)電機(jī)，速度波動(dòng)優(yōu)于0.01%

高動(dòng)態(tài)性：3G加速度（空載時(shí)），高響應(yīng)，無(wú)摩擦靜音運(yùn)行，靜若處子動(dòng)如脫兔

  ● 應(yīng)用   Application

半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測(cè)  光學(xué)檢測(cè)  AOI檢測(cè)  激光直寫(xiě)  平板顯示器制造 

半導(dǎo)體加工設(shè)備  電子加工設(shè)備  激光加工設(shè)備  精密機(jī)床設(shè)備

 ● 技術(shù)參數(shù) Technical parameter - 支持定制