對(duì)于一些精密運(yùn)動(dòng)和測(cè)量設(shè)備而言,需要二維、三維或者更多維度的高精度的運(yùn)動(dòng)和控制,精度需要達(dá)到微米或者納米級(jí)精度。在這種情況下,氣浮平臺(tái)無(wú)疑是極佳的選擇。