空氣軸承可以在不同類型的導(dǎo)向材料上運行。空氣軸承常見的導(dǎo)向表面:花崗巖、硬涂層鋁、陶瓷、玻璃、不銹鋼和鍍鉻鋼。
空氣軸承導(dǎo)軌導(dǎo)向表面需要注意事項有以下幾點:
· 表面光潔度:空氣軸承建議表面光潔度為 16RMS(微英寸)或更高。(表面粗糙度的要求是要小于氣膜厚度的1/4 )
· 對于多孔介質(zhì)空氣軸承,必須將表面光潔度視為間隙的一部分,當(dāng)設(shè)計較小間隙時,表面光潔度變得更加重要。
· 局部平面度:定義為軸承下任意時刻的平面度,應(yīng)小于設(shè)計氣隙的50%。這是最壞的情況,實際上保持在氣隙的10% 以下相對容易。
· 導(dǎo)向表面的孔直接會影響軸承的承載力
知道了上述空氣軸承的導(dǎo)向面,那么問題來了,
什么樣的應(yīng)用場景才適合空氣軸承呢?
1 速度穩(wěn)定性和掃描
速度(穩(wěn)定性優(yōu)于 0.01%)。慣性傳感器測試、斷層掃描、晶圓掃描和表面輪廓分析等應(yīng)用
2 極低誤差運動
極高的直線和平面度,俯仰、滾動和偏航誤差可控制在0.1弧秒內(nèi)
旋轉(zhuǎn)平臺的傾斜(擺動)誤差< 1 弧秒
3 需要無擺動或高速旋轉(zhuǎn)運動
旋轉(zhuǎn)空氣軸承:徑向、軸向和擺動誤差運動比機(jī)械軸承小得多,旋轉(zhuǎn)運動非常平滑
4 無摩擦高精度定位
5 清潔度,無磨損的,幾乎不產(chǎn)生顆粒。對于極其清潔的應(yīng)用,建議空氣軸承使用 99.9% 的純氮氣運行,精確的力控制和傳感器
空氣軸承幾乎無摩擦,與直驅(qū)動電機(jī)或音圈耦合時,是微牛頓和納牛頓力控制應(yīng)用的理想選擇
既然有空氣軸承的應(yīng)用環(huán)境
相對于的不適用于空氣軸承的環(huán)境又有哪些呢?
1.真空環(huán)境
雖然在真空中操作空氣軸承并非不可能,但它具有挑戰(zhàn)性。通常應(yīng)避免真空應(yīng)用,而應(yīng)使用機(jī)械軸承、磁懸浮或撓性系統(tǒng)
2.非常臟的環(huán)境
空氣軸承通常用于清潔環(huán)境。通常應(yīng)避免存在大量灰塵、污垢、碎屑和流體的應(yīng)用。
3.壓縮空氣或氮氣不可用
空氣軸承需要持續(xù)供應(yīng)清潔的壓縮空氣或氮氣。